圆柱形靶材
一直以来，靶材的形状一般为平面（平板），但近几年因为溅射设备可以使用旋转型（圆筒）靶材，因此为了能够对客户的工程改善做出贡献，三井金属也快速投入批量生产圆柱形靶材，并且保证和平面靶材完全同等的品质。
现在除了ITO靶材外，三井金属还成功量产了IGZO靶材，并且能够提供多种配比的靶材。
用途
平板显示、触摸屏应用
ITO特性值
| 规格 | 单位 | 备注 | ||
|---|---|---|---|---|
| 配比 | In2O3 | 平衡 | wt.% | - |
| SnO2 | 3,5,7,10 *1 | - | ||
| 纯度 | ITO | ≧99.99 | % | - |
| 相对密度 | ≧99.5 *2 | % | - | |
*1 标准成分。我们还可以根据要求提供其他配比。
*2 10wt%SnO2-ITO
IGZO特性值
| 规格 | 单位 | 备注 | ||
|---|---|---|---|---|
| 配比*1 | In | 1 | at ratio | - |
| Ga | 1 | - | ||
| Zn | 1 | - | ||
| 纯度 | IGZO | ≧99.99 | % | - |
| 相对密度 | ≥99.5 | % | - | |
*1 可制造In:Ga:Zn:O=1:1:1:4以外的各种组成。
生产据点
日本：福冈县大牟田市大字唐船2081（三池目标工厂）
台湾：台中市无锡区纬五路6号（台特股份有限公司）
