ITO靶材
三井金属独特的浆料成型技术（平板型 - MMF法）（圆柱型 - CIP 法）
使靶材实现了各种形状和尺寸的高密度化，并承诺减少使用过程中的nodule和particle 三井金属还提供定制产品，以满足客户对无法在成膜后进行热处理的触摸屏应用的需求。
用途
- 平板显示器
- 触控面板应用
特性值
| 规格 | 单位 | 备注 | ||
|---|---|---|---|---|
| 配比 | In2O3 | 平衡 | wt.% | - |
| SnO2 | 3,5,7,10 *1 | - | ||
| 纯度 | ITO | ≧99.99 | % | - |
| 相对密度*2 | ≥98 | % | - | |
| 7.12 | g/cm3 | - | ||
*1 标准成分。我们还可以根据要求提供其他配比。
*2 10wt%SnO2-ITO
制造工艺
采用独特的MMF™烧结制造方法制成的超高密度溅射靶材
这是我们独特的新制造方法（浆料成型技术）。
特性
- 减少nodule
- 减少particle和金属异物
- 减少异常放电（arcing）
生产据点
日本：福冈县大牟田市大字唐船2081（三池靶材工厂）
台湾：台中市梧栖区纬五路6号（台湾特格股份有限公司）
