溅射靶材

溅射靶材是用于通过溅射制造薄膜的原材料。
溅射是一种通过在真空中用Ar离子轰击靶材并将喷射的靶材（原子）沉积在相对的基板上来形成薄膜的方法，如图所示。
靶材一般为厚度为数毫米的圆形或矩形板，并与背板粘合。